제품소개

제품소개 Product

매엽식 CLEAN OVEN SYSTEM HSC Series

LCD생산 라인에서의 레지스트(Registration) 도포 후의 【BAKE】, 【ANNEAL】, COLOR FILTER의 각【PROCESS POST BAKE】등 인라인의 열처리 공정에 활용하는 전용 CLEAN OVEN입니다. 제1세대 유리 기판에서 최대 제10세대의 장치까지 대응가능하며, 보다 균일한 열처리나 저파티클(Particle)화를 실현하고 있습니다. GLASS의 대형화에 따른, 장치의 설치 면적 축소화를 도모하고, Clean Room 스페이스의 유효한 활용에도 공헌합니다.

특징
조내에서의 곤도라 구동에 의해 공간 절약화를 실현한 유리 다단수납.
2중내조구조와 수평 Return Duct 방식에 의한 높은 온도분포 성능을 보증
특수내열 필터의 채용에 의해 저파티클(Particle)화를 실현.
반송용 로보트와 냉각부나 loader·unloader부를 모듈화
용도에 따른 옵션 대응
저산소농도대응
아우터(Outer) 가스, 승화물 처리 대응
주요사양
GLASS 기판 사이즈 온도범위 온도분포 CLEAN도 옵션
제1~제10세대 +90~+300℃ ±4.0℃ 입경 0.3m이상 100개 이내/lft3 승화물분해유닛, 승화물 저감유닛, 질소도입, 기반대전 방지, 얼룩대책, SECS-HSMS통신대응, GEM통신대응