LCD생산 라인에서의 레지스트(Registration) 도포 후의 【BAKE】, 【ANNEAL】, COLOR FILTER의 각【PROCESS POST BAKE】등 인라인의 열처리 공정에 활용하는 전용 CLEAN OVEN입니다. 제1세대 유리 기판에서 최대 제10세대의 장치까지 대응가능하며, 보다 균일한 열처리나 저파티클(Particle)화를 실현하고 있습니다. GLASS의 대형화에 따른, 장치의 설치 면적 축소화를 도모하고, Clean Room 스페이스의 유효한 활용에도 공헌합니다.